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蚌埠雷诺真空技术有限公司

高端半导体工艺和真空镀膜设备的设计、加工、制造、工艺开发

真空阀门

真空L型传输闸板阀

文字:[大][中][小] 2016-4-27    浏览次数:4548    

  产品介绍:

  真空度:高真空

  漏率: 1E-9 mbar l/s, He

  使用寿命: 100万次(依制程而有些许改变)

  铝合金或SUS阀体可供选择。波纹管密封和无波纹管。 



  应用于真空环境,传输物品之闸门


  特色

  - L-Motion,不同于单轴单向的闸板阀,作动采用


  特殊开关方式,L-Motion Lock 可将阀门关闭位置固定。

  - 方便安装与维修

  - 闸板更换成本较低


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